如何選擇高純氣體管道及其附件的材料？
發布日期：2024-05-16 關注次數：382
高純度氣體的輸送是否能將高純氣體送至用氣點，并保持其質量合格，關鍵在于供氣系統規劃合理、管件及附件選擇正確、施工安裝正確以及實驗檢測合格。在選擇高純氣體管道時，需要根據工藝過程對氣體純度、允許的雜質含量、微粒含量等要求的不同，選用相應質量的管材。
以半導體產業為例，由于其生產工藝復雜、加工精細，不僅要求有潔凈的生產環境，而且對生產過程中所需的各種高純氣體有特定且嚴格的要求。從微米技術進入亞微米、深亞微米(小于0.35g/m)技術，對氣體中的雜質含量、水含量要求極為嚴格。目前，10(ppm級)的雜質含量已經不能滿足要求，需要達到10(ppb級),甚至10-2(ppt級)。此外，塵埃粒徑要求控制在0.05-0.1μm以內。因此，選擇管道自身的管道材料特性以適應高純、超高純氣體的要求成為必要條件。
以半導體產業為例，由于其生產工藝復雜、加工精細，不僅要求有潔凈的生產環境，而且對生產過程中所需的各種高純氣體有特定且嚴格的要求。從微米技術進入亞微米、深亞微米(小于0.35g/m)技術，對氣體中的雜質含量、水含量要求極為嚴格。目前，10(ppm級)的雜質含量已經不能滿足要求，需要達到10(ppb級),甚至10-2(ppt級)。此外，塵埃粒徑要求控制在0.05-0.1μm以內。因此，選擇管道自身的管道材料特性以適應高純、超高純氣體的要求成為必要條件。
